丹佛斯變頻器顯示ERR 16內部短路故障時，按以下步驟進行檢查：

1. 首先對變頻器進行復位，并檢查參數是否正確。
2. 確認參數無誤后將變頻器斷電，然后檢查變頻器輸入端及輸出端對地及相間是否存在短路
3. 檢查電機電纜線對地是否短路
4. 檢查相間是否短路
5. 使用兆歐表檢測電機對地阻值。
6. 帶制動機型檢查制動電阻是否短路及接地。